Nordson March - Hệ thống xử lí bề mặt công nghệ Plasma chân không - Dòng AP
Hệ thống xử lý plasma dòng AP phù hợp cho nhiều ứng dụng khác nhau như làm sạch, kích hoạt bề mặt và cải thiện độ bám dính trong công nghiệp bán dẫn, y tế và khoa học đời sống.
Dòng máy xử lý plasma AP bao gồm 04 hệ thống xử lý plasma , cung cấp các tùy chọn về thể tích buồng chân không nhỏ, trung bình và lớn, mang lại sự tương quan quy trình, liên tục trong điều khiển và xử lý gas plasma chân không đáng tin cậy, tái sản xuất được cho khách hàng khi mở rộng từ môi trường nghiên cứu và phát triển sang các cấp độ sản xuất khác nhau.
Tính năng và lợi ích
- Bộ điều khiển PLC với màn hình cảm ứng cung cấp giao diện đồ họa trực quan và theo thời gian thực
- Thiết kế linh hoạt cho phép xử lý nhiều loại bộ chuyển đổi linh kiện trong chế độ direct plasma hoặc chế độ downstream plasma
- Bộ tạo sóng RF với tần số 13,56 MHz có khả năng kết nối trở kháng tự động giúp đảm bảo
- Hệ thống điều khiển phần mềm độc quyền tạo ra dữ liệu quy trình và sản xuất cho điều khiển quá trình thống kê
- Kiểu lô, mỗi đơn vị hoàn toàn tự chứa, yêu cầu tối thiểu không gian sàn
- Máy bơm, phòng chân không, điều khiển điện tử và máy phát tần RF 13.56 MHz được đặt trong một bộ vỏ duy nhất.
Model cung cấp
Model AP-300™ và AP-600™
Hệ thống xử lí bề mặt công nghệ Plasma AP-300 và AP-600 là dòng thiết bị để bàn, tự động hoàn toàn và phù hợp với không gian hạn chế.
- Cấu tạo:
- Khoang plasma, bộ điều khiển điện tử, tích hợp bộ phát tần số RF 13,56 MHz và bộ kết nối tự động (ngoại trừ máy hút chân không).
- Cửa hoặc các bảng lắp ráp có thể tháo rời dễ dàng bảo trì.
- Bộ phận chứa plasma có tới 7 giá có thể tháo rời và điều chỉnh, được cấp điện hoặc kết nối đất để đáp ứng nhiều loại chi tiết, linh kiện và bộ chuyển hàng bao gồm tạp chí, khay và thuyền.
- AP-300 và AP-600 tương thích với khí Argon, Oxy, Hydro, Helium và Fluorua.
- Phần phụ trợ:
- Hai (02) bộ điều khiển dòng khí điện tử để kiểm soát khí tối ưu
- Hai (02) bộ điều khiển bổ sung có sẵn tùy chọn (tối đa 4 bộ điều khiển).
- Các thiết bị phụ trợ khác liên quan tới điều kiện lắp đặt, yêu cầu hiệu chuẩn định kỳ được cung cấp để đáp ứng yêu cầu kiểm định.
Model AP-1000
Hệ thống xử lí bề mặt công nghệ Plasma AP-1000 có khả năng tiếp cận tới tất cả các thành phần bên trong thiết bị từ mặt trước.
- Cấu tạo:
- Bơm được đặt trên các roller dễ dàng tháo lắp.
- Khoang plasma được làm bằng thép không gỉ cỡ 11 gauge với các bộ phận nhôm để tăng độ bền, gồm nhiều kệ tháo rời và điều chỉnh phù hợp với các khay chứa linh kiện (magazines, trays, auer boat).
- Tùy chọn tốc độ xử lý HTP (high throughput) tương ứng với độ chính xác và chất lượng cao nhờ thiết kế độc quyền của Nordson MARCH. Từ đó, tối ưu hóa việc sử dụng các ion phản ứng được tìm thấy trong RF plasma, tăng đồng nhất trong quá trình xử lý và giảm thời gian xử lý.
- AP-1000 tương thích với khí Argon, Hydrogen và Helium.
- Phần phụ trợ:
- Bốn (04) bộ điều khiển lưu lượng khí để kiểm soát khí tối ưu.
- Khay đựng, có khe được đặt dọc trong buồng xử lý, mỗi khay chứa ít nhất 20 khung chì. AP-1000 có thể chứa đến 12 khay tùy thuộc vào kích thước khay.
Model AP-1500
Hệ thống xử lí bề mặt công nghệ Plasma AP-1500 là một thiết bị xử lý plasma hiệu quả với một buồng lớn phù hợp quy mô sản xuất hàng loạt. Đây là giải pháp tiết kiệm cả về mặt chi phí và không gian vận có thể xử lý mọi loại linh kiện. Thiết bị có kích thước nhỏ gọn nhưng hoàn toan tự động.
- Cấu tạo:
- Bộ bơm, buồng, điều khiển điện tử và máy phát RF 40 MHz đều được chứa trong vỏ của nó.
- Khay đựng ngang có thể trượt ra để dễ dàng tải và dỡ hàng.
- Thiết kế nhỏ gọn và cho phép bảo trì từ phía trước và phía sau của hệ thống, cho phép nhiều thiết bị đặt cạnh nhau để tối đa hóa quy trình.
- Bơm được đặt các roller để dễ dàng tháo lắp.
- Bộ điều khiển được cài đặt nhiều lớp bảo mật, từ đó đảm bảo hiệu suất nhất quán của hệ thống từ lô đầu tiên đến lô cuối cùng.
Thông số kỹ thuật
| | AP 300 | AP 600 | AP 1000 | AP 1500 |
Kích thước - Footprint | 569W x 869D x 704H mm (22W x 34D x 28H in.) | 569W x 869D x 704H mm (22W x 34D x 28H in.) | 880W x 1127D x 1880H
(28.77W x62.3D x74.4H in.) | 1118W x 1196D x 2407H mm
(44W x 47D x 95H in.) |
Tổng trọng lượng | 221 kg (487 lbs) | 221 kg (487 lbs) | 485 kg (1088 Ibs) | 921 kg (2030 Ibs) |
Thể tích tối đa | 33.1 liters (2023 in³) | 50.4 liters (3076 in³) | Right, Left - 153 mm (6 in.), Front - 880 mm (27 in.)
Back - 483 mm (19 in.) min.
127 liters | 442.4 liters (27.000 in3) |
Cấu hình điện cực có thể thay đổi | Power-Ground, Ground-Power, Power-Power | Power-Ground, Ground-Power, Power-Power | Power-Ground, Ground-Power, Power-Power | Power-Ground, Ground-Power, Power-Power |
Số lượng vị trí điện cực | 7 | 7 | 14 | 14 |
Khoảng cách giữa các điện cực | 25.4 mm (1 in.) | 25.4 mm (1 in.) for 80D W
50.8 mm (2 in.) for 100o W | 25.4 mm (1 in.) for 80D W
50.8 mm (2 in.) for 100o W | 50.8 mm (2 in.) |
Diện tích yêu cầu có nguồn điện | 190W x 330D mm (7.5W x 13D in.) | 349W x 425D (13.74W x 18.73D in.)
384W x 425D mm (15.12W x 18.73D in.) | 349W x 425D (13.74W x 18.73D in.)
384W x 425D mm (15.12W x 18.73D in.) | 843W x841D mm (25.3W x25.2D in.) |
Công suất tiêu chuẩn | 300 W | 600W | 600W | 2000 W |
Dung tích dòng chảy có sẵn | 10, 25, 50, 100, 250 or 500 sccm | 10, 25, 50, 100, 250 or 500 sccm | 10, 25, 50, 100, 250, 500, 10D0, 2000 or 5000 sccm | 10, 25, 50, 100, 250, 500, 1000, 2000 or 5000 socm |
| | For further details, please refer to enclosed brochure. |
Nordson MARCH là nhà sản xuất hàng đầu trong công nghệ xử lý plasma cho các ngành sản xuất bán dẫn, bo mạch in (PCB), vi điện tử, năng lượng mặt trời, đèn LED và thiết bị y tế và khoa học đời sống. Nordson MARCH có văn phòng và phòng thí nghiệm ứng dụng trên toàn thế giới, bao gồm California, Florida, Châu Âu, Singapore, Trung Quốc, Nhật Bản, Hàn Quốc, Ấn Độ và Đài Loan.
Với hơn 20 năm liên tục đổi mới, Nordson MARCH thiết kế và ra mắt dòng sản phẩm hoàn chỉnh các hệ thống xử lý plasma được trao giải thưởng và cấp sáng chế. Đội ngũ chuyên gia và kỹ thuật luôn sẵn sàng hỗ trợ trong việc phát triển quá trình xử lý plasma đảm bảo chất lượng sản phẩm và tối đa hóa quy trình sản xuất.
Cần hỗ trợ thêm thông tin, Quý khách vui lòng liên hệ:
Hotline: 0906 654 815
Email: tecinfo.vn@dksh.com
